レーザトラッピングによるナノCMMプローブに関する研究（第11報）

横方向強制振動型プローブの応答特性

抄録

複雑な微細形状を有するマイクロ部品の3次元形状評価の重要性が指摘される現状に対し，筆者らはレーザトラップされた微粒子をこの3次元座標測定器の位置検出プローブとして用いることを提案し，その位置検出特性の検討を行ってきた．本講演では急峻な測定面に対する位置検出能を新たに付加するべく，音響光学偏光器を用いたプローブ球の横方向振動を試み，その基本応答特性についての基礎実験を行ったのでこれを報告する．