高精度ステップゲージ測定機の性能評価(2)

抄録

産業技術総合研究所　幾何標準研究室は、三次元測定機や工作機械の誤差を測定し、校正するためのゲージであるステップゲージを高精度に測定するための装置を製作した。これまでに、装置の概要と、考案したプロービングシステムについて報告してきた。今回の発表では、それら結果をふまえ、実際に値が判明しているゲージを対象に繰り返し測定等を行い、装置が持つ特性についての評価を報告する。