スペックル除去光触針式輪郭測定機の性能向上

抄録

既報において、光触針法を用いたときに発生する高周波成分や突発的なピークの原因が、スペックルノイズであることを明らかにし、スペックルノイズ除去機能を有する測定システムを提案した。この方式の効果は大きく、測定値は触針式に近い値を示した。しかしながら測定結果を触針式測定値と比較すると、わずかであるが高周波成分やピークが残っていた。本研究ではこの原因を明らかにし、この測定誤差を除去するための直行測定系から構成される、改良光触針式輪郭測定方式を提案する。