レーザ干渉技術を用いた触針式表面粗さ測定機の基準案内の校正

直井 一也; 赤津 利雄; 高辻 利之; 佐藤 浩志; 黒澤 富蔵

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.588.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: K34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.588.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測（5）

レーザ干渉技術を用いた触針式表面粗さ測定機の基準案内の校正

*直井一也, 赤津利雄, 高辻利之, 佐藤浩志, 黒澤富蔵

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キーワード: 校正, 表面粗さ測定機, レーザ干渉計

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抄録

触針式表面粗さ測定機の残さ曲線の校正はJIS0670:2002において，オプチカルフラットを用いるこ方法が規定されている．これにより基準案内の真直度の影響が分かる．しかし，現在平面度の標準の供給がまだ行われていないため，オプチカルフラットの校正を行う事ができない．そこで，本研究ではレーザ光の直進性を利用して触針式表面粗さ測定機の基準案内の真直度を測定した．

責任著者(Corresponding author)

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