300mmシリコンウェーハの反り測定における支持方法の検討

抄録

現在の測定は一点支持法により行われている．しかし，この方法には測定中の安定性やデータの信頼性において問題がある．そこで，三点支持法による測定を提案する．三点支持法における重力によるたわみを解析により求め，解析値と実測値の差を取ることにより，重力の影響を除去する．また，解析には支持点における摩擦の影響などを考慮する．以上の手法により，本研究ではシリコンウェーハの反り測定法の確立を目的としている．