長尺工具の精密測定に関する研究

古川 勝; 高 偉; 清水 浩貴; 清野 慧; 安竹 睦実; 高橋 和彦

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.590.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: K36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.590.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測（6）

長尺工具の精密測定に関する研究

*古川勝, 高偉, 清水浩貴, 清野慧, 安竹睦実, 高橋和彦

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キーワード: 非接触測定, 誤差分離, 多点法, レーザー変位計

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抄録

薄膜塗布に用いられる幅が数百μm，長さが1-2m前後，深さが数百mmのスリットを持つ高精度長尺塗布工具では，スリット幅やスリット面の形状精度が塗布性能に影響を与えることから、幅や形状の高精度な測定が必要である．本研究では光変位計を使ってスリット幅およびスリット面の形状を，加工現場で同時に非接触かつ迅速，高精度に測定する手法を開発する．本報では基本的な原理と，基礎的な測定結果に関して報告する．

責任著者(Corresponding author)

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