マイクロ化を目指した新しい磁気軸受構造の提案と試作

黒木 次郎; 進士 忠彦; 李 黎川; 下河辺 明

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.685.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: M16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.685.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム（旧マイクロメカニズム）（3）

マイクロ化を目指した新しい磁気軸受構造の提案と試作

*黒木次郎, 進士忠彦, 李黎川, 下河辺明

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キーワード: 磁気軸受

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抄録

磁気軸受は非接触，無摩擦，無摩耗などの利点がある反面，従来の磁気軸受はセンサ，アクチュエータが多数必要で，構造が複雑なため，小型化が困難である．そこで，単純構造を有し，小型化に有利な1自由度制御型磁気軸受の新たな構造を提案する．永久磁石の磁気カップリングを利用し，軸方向の1自由度制御のみで軸の安定浮上が可能なロータ最大径6mmのマイクロ磁気軸受を試作した．

責任著者(Corresponding author)

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