液体の表面張力を利用した複数のマイクロ部品の同時セルフアライメント

小林 信太郎; 佐藤 海二

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.689.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: M20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.689.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム（旧マイクロメカニズム）（4）

液体の表面張力を利用した複数のマイクロ部品の同時セルフアライメント

*小林信太郎, 佐藤海二

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キーワード: セルフアライメント, マイクロ部品, 組立, 液体, 表面張力

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抄録

本論文では，液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントに関する研究の一環として，複数のマイクロ部品を同時にセルフアライメントする方法について検討している．まず簡単な加振装置を利用した複数部品のセルフアライメント方法の基本的な原理を示し，ついでその方法に基づくアライメント実験を行い，その性能，特性を評価している．

責任著者(Corresponding author)

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