抄録
位置決め精度0.69nmを有し300mm/sec以上の速度で稼動する非共振型超音波モータ駆動超精密ステージ技術を応用し，マイクロ－ナノメートル領域の微細操作を行うための3次元駆動可能な超精密ナノマニピュレータをすでに開発している．しかし，走査型電子顕微鏡内などで使用するためにはさらなる小型化が課題であった．本講演では，これまでの仕様である位置決め分解能10nm，ストローク20mmは確保した上で小型マニピュレータを開発した結果について報告する．初期型マニピュレータに対して体積比36%までの小型化に成功した．初期型マニピュレータと今回開発した小型マニピュレータの特徴及び性能を比較·評価する．
