シリコンオイルを絶縁液に用いた静電フィルムアクチュエータの特性評価

絶縁液の粘性及び駆動速度による推力特性

抄録

静電フィルムアクチュエータの駆動には高電圧を必要とし，フィルム間にある空気の絶縁破壊を防ぐためにフィルム間には絶縁液を満たす必要がある．従来，絶縁液には低粘度(0.8cSt)のフロリナートFC-77(3M)を用いていたが，揮発性が高くアクチュエータのメンテナンス性を損なう要因であった．本研究では，代替絶縁液として，比較的高粘度(10-100cSt)で揮発性の低いジメチルシリコンオイルを用いた場合のアクチュエータ推力を評価する．