真空環境用静電浮上リニアモータ(第1報)

山本 晃生; 保井 秀彦; 清水 直茂; 樋口 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.717.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: M66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.717.0

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主催: 社団法人精密工学会

アクチュエータ

真空環境用静電浮上リニアモータ(第1報)

山本晃生, 保井秀彦, *清水直茂, 樋口俊郎

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キーワード: 静電モータ, 浮上モータ, 非接触駆動, 静電浮上, 真空, 電子ビーム

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抄録

近年，半導体製造などの分野において，電子ビームを用いた装置の開発が行われており，磁場発生の少ない高真空対応駆動装置が求められている．筆者らは，このような用途への応用を目指して，静電浮上リニアモータを開発している．本報では，補助的な支持機構を付与した試験装置を用いて，高真空環境内で行った浮上駆動の実験について報告する．移動子を固定子下200ミクロンに静電気力で浮上し，同じく静電気力により20mm/sの速度で駆動し，位置決めすることに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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