シュリンクフィッタを用いた高精度光学系による微細加工システムの研究開発

抄録

高精度光学系による微細加工を実現するため、レンズの偏心を最小限におさえるシュリンクフィッタを適用したf·θ加工レンズおよび、ガルバノ制御システム、ビームエキスパンダから成る高精度レーザー加工システムを開発し、試験的な加工実験を行いシュリンクフィッタのレーザ加工への適用の可能性を検討した。