抄録
三次元測定機等の精密測定機の空間走査機構は，その各軸がモータ，送り機構，走査機構より構成される．空間走査機構の制御を行う際には，これら各要素間が有限な剛性により結合されることにより生じる振動モードの抑制が課題となる．このような振動モードの抑制にはノッチフィルタを使用することが多いが，ノッチフィルタは振動モードの周波数が変動した場合に制御系の安定性を損なうという問題がある．これに対して，この振動モードの周波数の変動に対してロバストな制振補償器を提案し，この有効性をシミュレーションによって確認したので，この内容について報告する．
