ナノ加工·計測システムの開発と応用

川堰 宣隆; 森田 昇; 山田 茂; 高野 登; 大山 達雄; 芦田 極; 稲垣 清紀; 斎藤 潤二

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.805.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: O54

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.805.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

ミニチュア化生産システムとその要素技術開発（2）

ナノ加工·計測システムの開発と応用

*川堰宣隆, 森田昇, 山田茂, 高野登, 大山達雄, 芦田極, 稲垣清紀, 斎藤潤二

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キーワード: 原子間力顕微鏡, 摩擦力顕微鏡, 加工用カンチレバー, 単結晶シリコン

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抄録

摩擦力顕微鏡機構の表面観察機能をベースに位置決め制御機能，NC機能など加工機としての機能の付加·拡充をはかり，1-10nm単位での機械加工が可能な3次元ナノ加工機·計測システムの開発を行っている．カンチレバー探針と加工物の相対位置を3次元的に制御することにより，単結晶シリコンの3次元加工について検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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