マイクロ素子部品の微小超精密加工機械の創作

西田 圭佑; 齊藤 浩之; 周 立波; 江田 弘; 川上 辰男; 太田 一史

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.804.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: O53

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.804.0

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主催: 社団法人精密工学会

ミニチュア化生産システムとその要素技術開発（2）

マイクロ素子部品の微小超精密加工機械の創作

*西田圭佑, 齊藤浩之, 周立波, 江田弘, 川上辰男, 太田一史

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キーワード: 微細加工, 結晶構造, 走査型電子顕微鏡, その場観察

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抄録

本研究は，機械加工中に工作物が酸化したり，マクロな領域では現れなかった結晶構造の影響を解明し，切削メカニズムを明らかにすることを目指している．そこで我々は，その第一段階として，SEM内で切削加工を行える小型の旋盤を開発した．今回は，開発した旋盤の詳細と，実際にその場観察切削実験を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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