ガラス製マイクロレンズアレイのモールドプレス

伊藤 耕史; 伊藤 寛明; 杉本 公一; 松倉 利顕; 小飼 俊勝

doi:10.11522/pscjspe.2004A.0.291.0

2004年度精密工学会秋季大会

セッションID: F50

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004A.0.291.0

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主催: 社団法人精密工学会

MEMS商業化技術（2）

ガラス製マイクロレンズアレイのモールドプレス

*伊藤耕史, 伊藤寛明, 杉本公一, 松倉利顕, 小飼俊勝

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キーワード: 精密金型, モールドプレス, ガラス状炭素, ガラスレンズ, マイクロレンズアレイ

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抄録

集束イオンビーム（FIB）加工により，ガラス状カーボン金型に一辺１μm～30μmのマイクロレンズアレイ形状を付与した後，高温モールドプレスによって高融点光学ガラス製のマイクロレンズアレイの試作に成功した．本報では，金型の寸法精度（レンズ径，曲率半径）に及ぼすＦＩＢ加工条件の影響，モールド成形後のマイクロレンズアレイの転写性，レンズ数を増加させたときの問題点，などについて報告する．

責任著者(Corresponding author)

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