周波数可変レーザと結晶格子を利用したピコメートル測長法の開発

抄録

多光束と2光束の干渉計に、周波数可変レーザとゼロクロス法を組み合わせたピコメートル分解能の測長法を提案する。多光束干渉計として高フィネス光共振器を採用し、共鳴状態を利用しその共振器長変化を周波数変化として捉える。2光束干渉計としてマイケルソン干渉計の光源に周波数可変レーザを用い、干渉縞が常に暗縞になるようにし、光路長変化を周波数変化として計測する。双方の方法に結晶格子を複合し校正を行う。本稿では、原理解説と動作確認を行う。