マルチプローブSTMと結晶格子による2次元変位エンコーダの開発

抄録

結晶格子表面は、サブナノメートル以下の2次元周期性、及び対称性を持つ構造物であり、超精密2次元スケールとして考える事が出来る。この微細な凹凸情報をマルチプローブSTMにより取得することで、格子間隔を実時間で補間しピコメートル分解能での2次元変位測定も可能であると考えられる。
本報では、マルチプローブSTMを用いて、2次元変位をピコメートル分解能で測定可能な、エンコーダの原理について述べる。