FPD用ガラス基板の表面形状測定方法の検討

伊藤 幸弘; 夏 恒; 国枝 正典; 丸谷 典之

doi:10.11522/pscjspe.2004A.0.699.0

2004年度精密工学会秋季大会

セッションID: N76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004A.0.699.0

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主催: 社団法人精密工学会

形状計測（1）

FPD用ガラス基板の表面形状測定方法の検討

*伊藤幸弘, 夏恒, 国枝正典, 丸谷典之

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キーワード: フラットパネルディスプレイ, 表面形状測定, 平坦度, 支持, 摩擦

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抄録

FPD用ガラス基板の表面凹凸は搬送,露光,セル化に大きな影響をおよぼすことが考えられる.しかし,大面積および薄肉のガラス基板は重力により大きく変形するため,正確な測定が困難であることが知られている.そこで,測定時の支持方法や,支持点とガラス基板の間で発生する摩擦が測定におよぼす影響を評価することにより,測定精度の高い表面形状測定方法の検討を行う.

責任著者(Corresponding author)

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