セラミックス基板のELID研削特性と表面改質加工効果の検証

抄録

AlN(aluminum nitride) は,高い電気絶縁性と誘電特性,またアルミナの約10倍という高い熱伝導性などいくつもの優れた特性を有する.本研究では,AlNに対してELID研削を施し,加工特性および表面性状を評価した.その結果,高品位加工面を創成するためには,#2000以上の微細砥粒砥石の使用が不可欠であることがわかった.なお,#20,000砥石による最終仕上げ加工によって,加工面粗さ0.008μmRaという極めて良好な加工面粗さが得られた.