マイクロカンチレバーと試料の接触解析

抄録

近年、工学の様々な分野において、ナノ単位の超微細加工技術が要求されるようになってきている。本研究においては、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の一つである摩擦力顕微鏡(FFM)を用いたマイクロカンチレバーによる微細切削加工に着目し、有限要素法を用いて、マイクロカンチレバーと数種の金属試料との初期接触時における金属試料のひずみ解析を行いひずみおよび応力の発生状況を明らかにした。