精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: G15
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超精密加工機とその要素技術
表面張力を利用した新しい流体軸受の提案
社本 英二*橋本 賢人鈴木 教和
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抄録
本研究では、表面張力を利用した新しい流体軸受を考案している。提案する装置では、軸受隙間に水の膜を作り、表面張力によってその状態を維持する。従来の非接触軸受と異なり、外部装置を必要としない単純な構造のため、使用する場所に制限されず、流体の脈動による微振動も無くす事ができる。実際に表面張力によって移動部を浮上させ、滑らかな送り動作が可能である事を確認している。また剛性等の測定も検討している。
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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