単結晶シリコンの延性モード切削によるナノサーフェスの創成

抄録

R刃ダイヤモンド工具を用いて,単結晶シリコン表面にマイクロ溝を形成するためのフライカット方式の切削実験を行い,切削モードの延性/脆性遷移挙動を明らかにすると共に,延性モード切削面のAFMによる解析・評価等から切削加工によってナノサーフェスを創成するための条件およびその可能性について検討した.