0.01μm加工を実用化する制御技術

最近の高速高精度サーボ技術とエンコーダ技術

抄録

0.01μm級の加工精度を実用的な使用環境で実現でき,かつ高速で高能率な加工を実現できる工作機械の開発を目的とし,そのために必要なサーボ制御技術および高精密な位置検出器を開発する。本報告では,3次元鏡面加工を実現する高精度マシニングセンタMP-46Vおよびリニアモータを採用した小型高精密研削盤GI-2N-SPに盛り込まれた新技術を中心に,高精密加工を実用化する技術を報告する。