精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: L19
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マイクロ・ナノ加工とその応用(4)
感光性ガラスのフェムト秒レーザ加工に関する研究
若林 正毅*池野 順一安齋 正博大森 整山井 亀夫
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抄録
フェムト秒レーザによるガラスの3次元加工を行い、マイクロレンズの創成を試みたので報告する。
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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