静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動法

福重 孝志; 秦 誠一; 下河辺 明

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.700.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M18

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.700.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム（旧マイクロメカニズム）(4)

静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動法

*福重孝志, 秦誠一, 下河辺明

著者情報

キーワード: MEMS, 帯電, 金属ガラス

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抄録

静電型MEMSアクチュエータは,高い電界の影響で,しばしば絶縁層の帯電を起こしてしまう.帯電はアクチュエータの固着を引き起こし,応答高速化の妨げになるため,我々はこの帯電を除去可能な駆動法を提案し,実験によりその効果を実証した.この駆動法は,印加する電圧の波形を変更するだけで実現可能であるため,デバイス自体の材質や寸法,形状等を変更する必要が無く,簡便で多くのデバイスに適用可能である.

責任著者(Corresponding author)

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