サーフェスエンコーダを用いた平面モータの5自由度精密位置決め

出島 秀一; 高 偉; 清野 慧; 冨田 良幸

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.708.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.708.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(1)

サーフェスエンコーダを用いた平面モータの5自由度精密位置決め

*出島秀一, 高偉, 清野慧, 冨田良幸

著者情報

キーワード: 精密位置決め, サーフェスエンコーダ, 平面モータ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

精密位置決めには多自由度の計測・制御が必要となる.本研究では,サブミクロンレベルの精密位置決めを実現するために,5自由度変位を同時に検出できるサーフェスエンコーダを開発し,平面モータステージの位置センサに応用した.構築したシステムは変位のみならず微小姿勢誤差の補正も可能で,サブミクロンの精密位置決めに対し有効であったことを報告する.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）