光ファイバを用いたPDIによる大口径凹面鏡の形状計測 直径200mm凹面鏡の形状計測の再現性

押鐘 寧; 片岡 俊彦; 南 和男; 井上 晴行; 中野 元博

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.780.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: N61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.780.0

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主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(2)

光ファイバを用いたPDIによる大口径凹面鏡の形状計測

直径200mm凹面鏡の形状計測の再現性

*押鐘寧, 片岡俊彦, 南和男, 井上晴行, 中野元博

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キーワード: 点回折干渉計, 位相シフト干渉計, 光ファイバ, 回折球面波, 絶対形状計測, PDI

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抄録

2つの光ファイバ端から発せられた回折球面波を診断光及び参照光として用いるPDI干渉計の開発を行なってきた.計測結果の再現性の向上(1nm rms程度)に伴い,大型光学素子の形状計測への応用にむけて,直径200mmの凹面鏡の形状計測を開始した.本講演では,この凹面鏡の形状計測の再現性を,凹面鏡を光軸に対して回転させて測った一連の計測結果により評価,検討する.

責任著者(Corresponding author)

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