進行波型小型圧電ポンプの研究

実験による流動特性の評価

抄録

本研究ではこれまでに、複数のバイモルフ圧電アクチュエータにより進行波を発生する金属振動板を流路内に挿入して流体を搬送するという新しい進行波型圧電ポンプを考案し原理と振動板の基礎的な特性などを報告してきた.本報では試作したポンプ装置を用いて実際に流体搬送実験を行い、駆動振動数やアクチュエータ間の駆動の位相差、振動板と流路壁の隙間や振動板の保持部の押し付け量の影響などの基礎的な特性について報告する。