ナノ研削に関する基礎研究

定圧研削におけるナノスケール除去作用

抄録

　ナノ研削における材料除去機構を明らかにするための基礎資料を得る目的で、原子オーダの分解能を有する原子間力顕微鏡に加工中の力をサブμNの分解能で検出可能な2軸トランスジューサを組み合わせたナノ加工装置を用いて、定圧研削加工におけるナノスケール研削溝の生成機構についてに検討した。加工荷重の増加に伴い、弾性変形領域、塑性変形領域、除去領域が現れ、これらの過渡現象が生じる臨界荷重特性を明らかにした。