超微細放熱フィンの形成技術と放熱特性

峠 睦; 渡邉 純二; 鳥居 修一; 伊東 繁; 外本 和幸; 浦山 信二; 田方 太郎

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.129.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: B38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.129.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用(6)

超微細放熱フィンの形成技術と放熱特性

*峠睦, 渡邉純二, 鳥居修一, 伊東繁, 外本和幸, 浦山信二, 田方太郎

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キーワード: 超微細放熱フィン, 超薄型ヒートシンク, 砥粒加工

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抄録

電子機器筐体用マグネシウム合金や亜鉛メッキ鋼の薄板にヒートシンクを模した微細な溝を機械加工により形成し,エッチングにより形状を調整する技術を開発した.その結果,溝のピッチ200um,深さ200umとした時,放熱性能が約1.9倍に向上した.また,機械加工のみでは0.5mmの薄板鋼板にピッチ180um,深さ300um,幅150umのマイクロ溝加工に成功した.この時の放熱性能は溝無しに比べて1.3倍に向上した.(上記文章中,umはマイクロメータです)

責任著者(Corresponding author)

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