ボールねじ送り系の高精度化に関する研究

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: A34

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主催: 社団法人精密工学会

工作機械の高速高精度化(5)

ボールねじ送り系の高精度化に関する研究

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キーワード: 高精度位置決め

会議録・要旨集フリー

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抄録

工作機械送り系に用いられてきたボールねじ送り系を高精度化するための問題点を調査する.10ナノーオダーの位置決め精度とサブミクロンオーダの真直度を目標とし,外乱要因のモデル化を行った.