超微細加工プロセス用完全非接触XY運動テーブルシステムの開発

谷口 浩一; 吉岡 勇人; 橋詰 等; 新野 秀憲

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.43.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: A36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.43.0

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主催: 社団法人精密工学会

工作機械の高速高精度化(6)

超微細加工プロセス用完全非接触XY運動テーブルシステムの開発

*谷口浩一, 吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲

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キーワード: ナノメートル位置決め, 完全非接触, 超微細加工, 平面運動, テーブルシステム

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抄録

次世代生産環境における加工要求に対応するためには,加工誤差要因を可能な限り排除した超微細加工プロセスを実現することが必要不可欠である.本研究では,XY平面におけるナノメートル位置決めを可能とする新たな完全非接触支持·非接触駆動によるテーブルシステムを開発し,その基本特性を評価した.更に,それを用いた超微細加工を行い,開発したテーブルシステムの総合的な性能評価を行い,その有用性を確認した.

責任著者(Corresponding author)

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