交差格子スケールの自己較正法

後藤 渉; 茨木 創一; 松原 厚; 越智 玉樹; 浜村 実

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.47.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: A38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.47.0

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主催: 社団法人精密工学会

工作機械の高速高精度化(6)

交差格子スケールの自己較正法

*後藤渉, 茨木創一, 松原厚, 越智玉樹, 浜村実

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キーワード: 交差格子スケール, 自己較正, 高精密加工機, 運動精度, 計測

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抄録

従来の汎用加工機より高い位置決め分解能を持つ高精密加工機,超精密加工機の真直度·直角度などの2次元平面上での運動精度を測定する手法は,確立されていないのが現状である.交差格子スケールを用いてこれらの加工機の2次元平面上での運動精度を検定する手法を確立する基礎として,本研究では格子の配列誤差などに起因する交差格子スケールの測定誤差を,測定対象上で自己較正するための手法を提案する.

責任著者(Corresponding author)

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