抄録
本研究では、周波数特性に優れた超高周波水晶振動子を低コストに作製することを目的とする。これまで数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工を行った結果、ウエハ平行度10nmオーダの加工実績を得ている。しかし、近年の50MHz以下の低周波振動子の小型化要求が急速に強まり、本手法の順メサ振動子への適用が急務となってきている。そこで、先ず、電子機器に最も使用頻度の高い26MHz帯水晶振動子に対して、数値制御プラズマCVMによって均厚化·薄片化された水晶ウエハの性能を検証することとした。具体的には、上記水晶ウエハから水晶振動子を作製して、その発振周波数特性の評価を行った。
