水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究

抄録

超純水のみによる電気化学加工法は、触媒反応を用いて超純水中の水分子を解離させ、生成されたOH^–と加工物表面原子との化学反応により除去加工を行う超精密加工法である。高速かつ高精度形状加工の実現を目的とし、水分子を解離させる触媒を電極表面に修飾させ、その評価を行った。その結果、電解電流および加工速度の向上が確認された。