超純水のみによる電気化学的加工法の研究

加工中に生成するOHラジカルの測定

抄録

超純水のみによる電気化学的加工法の研究を行っている。これまでに、第一原理分子動力学法を用いたシミュレーションによって、本加工法では被加工物表面原子とOHラジカルとの化学反応によって加工現象が進行することが予測されている。本発表では、OHラジカルと選択的に反応し蛍光物質を生成する試薬を用いて、電解反応中に電極表面で生成するOHラジカルを計測し、加工現象の反応機構を実験的に検証した結果について発表する。