超精密加工用3軸FTSの開発

和田 紀彦; 高橋 正行; 森脇 俊道; 中本 圭一; 田中 健一

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.71.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: A67

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.71.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密マイクロ機械加工(2)

超精密加工用3軸FTSの開発

*和田紀彦, 高橋正行, 森脇俊道, 中本圭一, 田中健一

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キーワード: FTS, アクチュエータ

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抄録

筆者らは回転ステージ上に設置したワーク回転と同期して駆動する超精密加工ユニットを開発した.本ユニットは工具に対してピエゾアクチュエータを3軸直交方向に配置することで工具を任意軌跡で駆動させることができ,また静電容量センサによるフィードバックによる高精度な位置決めを実現している.本法では本加工ユニットの周波数応答特性及び加工結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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