超音波振動を利用したリニアガイドシステム用スクイーズ空気軸受に関する研究

抄録

一軸の非接触案内では,高い負荷容量,高い運動性から静圧軸受が用いられる.しかし,密閉された容器内や配管スペースが取れないような機器では静圧空気軸受を使用することが困難な場合がある。このような場合でも使用できる空気軸受として,超音波振動を利用する構造のスクイーズ空気案内を提案し,その浮上特性について実験的,理論的に明らかにする。