超高加速・高速リニアモータの精密位置決め

抄録

この論文では,著者らが開発した高加速·高速リニアモータの精密位置決めについて述べている.このリニアモータの構造は永久磁石を組み込んだ駆動部と電磁石のステータにより構成される.現在までに,このリニアモータは最大加速度835m/s2(85.2G)以上,最大速度11.3m/s以上を実現している.300mmのステップ応答実験では,最大加速度約60Gで5μm以内の位置決め精度を実現している.