フィードフォワード制御によるSawyerモータの駆動特性改善

平田 政貴; 細畠 拓也; 平沼 和則; 森田 洋; 小梁川 靖; 冨田 良幸

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.867.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: K08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.867.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(2)

フィードフォワード制御によるSawyerモータの駆動特性改善

*平田政貴, 細畠拓也, 平沼和則, 森田洋, 小梁川靖, 冨田良幸

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キーワード: リニアステッピングモータ, ソーヤモータ, 精密位置決め

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抄録

弊社では半導体プロセス用高精度位置決め装置としてSawyer型XYZθステージを開発した.本ステージは4個のリニアステッピングモータにより駆動されるが,駆動分解能を確保するためレーザ干渉計を用いた位置制御系を構成している.制御方式として,通常のフィードバック系及びモータ特性のモデルを考慮したフィードフォワード制御を用いることにより,移動中の追従誤差,振動を低減させ性能を向上させることができた.

責任著者(Corresponding author)

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