真空·非磁性対応6軸ピエゾステージの開発

抄録

半導体製造·検査プロセスのステージ装置においては,集積度の向上とともにナノメータオーダの超精密な位置決めが要求されている.本講演では,このような要求に対して開発を行った微動ステージの性能について述べる.特に,真空·非磁性環境下で超精密位置決めを可能とした高剛性ステージの構成について,実験結果を中心に報告する.