基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究

赤松 宏明; 秦 誠一; 福重 孝志; 下河辺 明

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.955.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: L07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.955.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ/ナノシステム（旧マイクロメカニズム）(2)

基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究

*赤松宏明, 秦誠一, 福重孝志, 下河辺明

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キーワード: マイクロアクチュエータ, MEMS, 静電アクチュエータ, マイクロモータ, 基板面外

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抄録

本研究では,回転軸が基板面に平行なマイクロアクチュエータ(基板面外回転マイクロアクチュエータ)の提案,製作を試み,その実現をめざす.
回転軸に対し両側より対向した各8本の片持ばり(長さ1,000µm,幅200µm,厚さ5µm)により,軸(直径300µm,長さ2,150µm)をはりの先端部で支持する構造を考案した.片側の片持ばりを静電力により振動させ,軸を一定方向に回転させることを試みた.

責任著者(Corresponding author)

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