ピラミッド構造研磨パッドの研磨特性に及ぼす切れ刃摩耗の影響

佐藤 隆之介; 市田 良夫; 森本 喜隆; 輿水 智

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.14.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: A15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.14.0

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主催: 社団法人精密工学会

先進砥粒加工技術(1)

ピラミッド構造研磨パッドの研磨特性に及ぼす切れ刃摩耗の影響

*佐藤隆之介, 市田良夫, 森本喜隆, 輿水智

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キーワード: ピラミッド構造研磨パッド, 砥粒切れ刃, 切れ刃摩耗, S45C

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抄録

本研究では,固定砥粒研磨法の中でも砥粒を含んだピラミッド形状の突起が敷き詰められた表面パターンを持つピラミッド構造研磨パッドによる研磨加工法に着目した.本報では,S45Cを対象にピラミッド構造研磨パッドによる研磨試験を行うことによってその研磨特性を明らかにすると共に,研磨圧力,ドレッシング条件による砥粒切れ刃摩耗の相違及びその相違が研磨特性に与える影響を明らかにした.

責任著者(Corresponding author)

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