走査電子顕微鏡を用いたモアレトポグラフィ

新井 泰彦; 木下 大樹; 横関 俊介

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.226.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: E04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.226.0

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主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(1)

走査電子顕微鏡を用いたモアレトポグラフィ

*新井泰彦, 木下大樹, 横関俊介

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キーワード: モアレトポグラフィ, 走査電子顕微鏡

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抄録

三次元形状計測法としてのモアレトポグラフィの高感度化を図るために、従来の光学的モアレトポグラフィの考え方を電子顕微鏡に導入した新しいモアレトポグラフィを提案している.走査電子顕微鏡の反射電子を用いて原理確認実験を行ない、従来のモアレトポグラフィの原理に従った電子顕微鏡による三次元形状計測が可能であることを確認した.講演では、原理確認実験結果をもとに、高感度化を目指すにあたっての問題点ならびに検討結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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