球面波を用いた非球面干渉計測 (第2報) 非回転対称干渉縞の解析法

野村 俊; 神谷 和秀; 斉藤 慈和; 田代 発造

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.234.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: E14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.234.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(3)

球面波を用いた非球面干渉計測 (第2報)

非回転対称干渉縞の解析法

野村俊, 神谷和秀, *斉藤慈和, 田代発造

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キーワード: 干渉計, 非球面, 形状測定, 球面波, スプライン曲線

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抄録

非球面の干渉計測では形状に応じた参照面が必要となる,しかしこの製作と評価は困難である.そこで単一の球面波の参照面を用いて,曲率の異なる球面波による非球面測定法を提案した.提案する方法は球面と非球面とで生じる極部的な粗い間隔の干渉縞を合成して,非球面形状を算出する.ここで干渉縞の中心軸を連続的な曲線として扱い,非回転対称な干渉縞の解析を行った.本発表ではその結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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