微小レンズの2次元複屈折分布計測(第3報) ヌルレンズ法の提案

海老澤 瑞枝; 酒井 洋平; 大谷 幸利; 梅田 倫弘

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.237.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: E17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.237.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(3)

微小レンズの2次元複屈折分布計測(第3報)

ヌルレンズ法の提案

*海老澤瑞枝, 酒井洋平, 大谷幸利, 梅田倫弘

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キーワード: 複屈折, ヌルレンズ, ピックアップレンズ

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抄録

近年の光ピックアップ光源の短波長化によって,収差の少ない高品質なピックアップレンズ求められている.これまで,レンズ加工時に生じる応力歪を定量的に評価する方法として液浸法による複屈折計測を提案してきた.今回、新に実光路での複屈折計測を可能とするヌルレンズ法による複屈折計測を行ったので,複数枚のレンズを用いたヌルレンズのキャリブレーションを含めた計測手法と計測結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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