Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 透過型正弦波ガラス格子の作製

清野 慧; 高 偉; 鶴見 直也

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.249.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: E50

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.249.0

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主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(6)

Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究

透過型正弦波ガラス格子の作製

清野慧, 高偉, *鶴見直也

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キーワード: 計測, サーフェスエンコーダ, 微細形状, UV転写, 光学素子, マルチビーム

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抄録

微細正弦波を2次元に展開した形状を有する反射型角度格子と2次元角度センサを組み合わせたサーフェスエンコーダにおいて,従来センサ光源のマルチビーム生成素子として用いられていた2次元に周期開口を並べたマスク状回折格子には光量の低下という問題があった.本研究では,ビーム変換効率の高い素子として表面に正弦波角度格子と同様の形状を持つ透過型ガラス角度格子をUV転写加工によって作製し,その有効性を確認した.

責任著者(Corresponding author)

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