UV-LIGAを活用したマイクロ打抜き用金型製作技術の研究

抄録

近年MEMSに大変な関心が持たれているなか、UV-LIGAプロセスを用いた打抜き用工具の製作を目的とした研究を行った。これにより、複数形状の微細な工具を製作することで、放電加工や切削加工と比べて微細な打抜き加工を同時に行えると考えている。本講演では多数の微細打抜き部を有するポンチの製作方法について検討した結果を示し、ポンチの評価をした結果についても述べる。