FIB—CVD法により作製したDLCの曲げ試験方法の検討

抄録

FIB-CVD法の確立により、ナノ/マイクロスケールでの任意の3次元構造体の作製が可能となった。しかし、作製される材料(DLC)の力学特性ならびに微小構造体に対する力学特性の評価法は確立されていない。そこで、本研究ではDLCの力学特性の一つである曲げ特性に注目し、試験法の確立とDLCのヤング率、曲げ強度の評価を行なった。